徐教授,為了實現(xiàn)光刻機(jī)高分辨率的圖案轉(zhuǎn)移,我們根據(jù)光刻機(jī)理論體系得知,我們需要設(shè)計出高精度的光學(xué)系統(tǒng)?!?
“在設(shè)置高精度的光學(xué)系統(tǒng)之中,我們主要對其控制系統(tǒng)設(shè)計做了詳細(xì)的研究?!?
“只不過怕到了最后,我們發(fā)現(xiàn)即使我們設(shè)計出了堪稱完美的控制系統(tǒng)卻也無法形成高精度的光學(xué)系統(tǒng)……”
……
徐浩聽過光刻機(jī)項目總負(fù)責(zé)人曾祥勝的解答后。
心中頓時有了幾分猜測。
首先在光刻機(jī)的高精度光學(xué)系統(tǒng)之中。
控室系統(tǒng)設(shè)計確實是實現(xiàn)光刻機(jī)高精度成像的重要保障。
只不過徐浩早已經(jīng)對整個光刻機(jī)項目進(jìn)行了詳細(xì)的驗證都沒有發(fā)現(xiàn)任何問題。
而這些光刻機(jī)專家所構(gòu)造的光刻機(jī)的控制系統(tǒng)也確實如他們所說的那樣堪稱完美。
那就說明導(dǎo)致光刻機(jī)項目陷入僵局的原因壓根不是出在這個所謂的高精度的光學(xué)系統(tǒng)之中的控制系統(tǒng)之中。
又或者換個說法的話就是這或許就是一場徹頭徹腦的實驗烏龍罷了。
是由于這些光刻機(jī)專家的對光刻機(jī)技術(shù)的認(rèn)知不夠。
才導(dǎo)致他們認(rèn)為光刻機(jī)項目陷入僵局是由于高精度的光學(xué)系統(tǒng)出現(xiàn)了問題才導(dǎo)致的。
也可以說到目前為止。
光刻機(jī)項目并沒有任何的問題。
光刻機(jī)項目也可以順利進(jìn)行下去。
一切都是因為這些光刻機(jī)專家對光刻機(jī)的高精度光學(xué)系統(tǒng)的理論體系掌握的不夠徹底。
導(dǎo)致他們無法繼續(xù)進(jìn)行光刻機(jī)項目的下一步。
而徐浩此刻也對這些光刻機(jī)專家在高精度的光學(xué)系統(tǒng)的理論體系中存在哪些掌握不足有了大致的猜測。
想到這。
徐浩有些無奈的搖了搖頭。
畢竟若是自己說出光刻機(jī)項目到目前為止其實并沒有出現(xiàn)什么問題。
光刻機(jī)項目也并沒有陷入僵局,項目仍然能夠繼續(xù)進(jìn)行下去這種話。
對這些光刻機(jī)專家來說。
必然是極為不信或者從某個意義來說是一個極為大的打擊。
但是徐浩知道。
光刻機(jī)技術(shù)本就復(fù)雜且深奧。
可以說龍國在此之前掌握的光刻機(jī)理論體系和現(xiàn)在的光刻機(jī)理論體系相比。
完全就是小巫見大巫不值一提。
這些光刻機(jī)專家可以說是從零開始學(xué)習(xí)的光刻技術(shù)并同時進(jìn)行光刻機(jī)項目的。
能走到現(xiàn)在這一步可以說已經(jīng)是難能可貴了。
更何況即使到現(xiàn)在這一步。
這些光刻機(jī)專家其實也并沒有任何的實驗上的錯誤。
說到底。
還是由于這些光刻機(jī)專家對光刻機(jī)的理論體系掌握的不夠徹底才會讓他們認(rèn)為光刻機(jī)項目無法進(jìn)行下去。
這也正是徐浩苦苦找尋許久也沒有找到光刻機(jī)項目有任何一處錯誤的唯一原因。
因為光刻機(jī)項目壓根就沒有錯誤!
光刻機(jī)項目也能繼續(xù)進(jìn)行下去!
想到這。
徐浩決定相比于直接告訴這些光刻機(jī)專家真相給他們帶來巨大的打擊。
倒不如換一種方式讓這些光刻機(jī)專家能夠明白光刻機(jī)項目沒有任何問題的情況下。
也能對光刻機(jī)的理論體系有更深層次的掌握。
想到這。
徐浩在經(jīng)過短暫的思索之后。
就立刻走向了實驗臺。
因為徐浩在種種辦法的考慮之下。
認(rèn)為當(dāng)前不僅能夠讓這些光刻機(jī)專家認(rèn)識到光刻機(jī)項目沒有任何問題的情況下。
還能對光刻機(jī)理論體系有更深層次的掌握的最好辦法。
就是直接繼續(xù)將這些光刻機(jī)專家未完成的項目繼續(xù)做下去。
直到光刻機(jī)項目徹底完成。
這樣一來。