光刻膠由樹脂、感光劑、溶劑和添加劑組成,其中的感光劑在光線照射下會發(fā)生反應(yīng),使曝光區(qū)的光刻膠溶解,這就相當于把掩膜上的電路圖案復(fù)制到了芯片基材上。
隨后,再進行蝕刻、離子注入、封裝等操作,一枚芯片就制作完成了。
光刻膠中感光劑的選擇,與光源是密切相關(guān)的,這涉及到化合物在不同波長光線作用下的變化,機理十分復(fù)雜。
徐云是知道這些概念的。他原本就是物理系的學生,楓林研究所聘請他的老師前來參與這個項目,就是因為其中涉及到一些光學方面的問題。他在項目組里耳濡目染了這么久,對于這些問題自然是非常了解的。
聽到高凡的問題,徐云也只能把心里那些雜念拋開,認真地答道:“我們現(xiàn)在研究的重點,就是g線光刻膠,這也是目前應(yīng)用最廣泛的。
“i線光刻膠這方面,畢主任在實驗室會議上提過幾次,讓大家有時間做一些積累,不過目前條件還不成熟。再至于說krf光刻膠,好像國外也剛剛開始研究吧?”
“你說i線光刻膠的條件不成熟,是指什么?”高凡問道。
徐云道:“不是我說的,而是畢主任說的?,F(xiàn)在國內(nèi)根本就沒有使用i線光源的光刻機,國外也不多,研究i線光刻膠,是不是有些操之過急了?”
“我想跟你說的,就是這個?!备叻舱f,“對了,徐師兄,摩爾定律你聽說過沒有?”
“當然聽說過?!毙煸撇环薜卣f,“不就是集成電路上的晶體管數(shù)量,每兩年就增加一倍嗎?我們好幾個老師上課的時候都提過?!?
“不愧是科大,思維很前衛(wèi)。”高凡翹個大拇指,贊了一句,卻換來了徐云一個白眼。
摩爾定律是1965年提出的,不過直到70年代中期才受到人們的重視。隨著集成電路技術(shù)的迅猛發(fā)展,摩爾定律一再得到印證,一時間在西方科技界和產(chǎn)業(yè)界倍受推崇。
此時的中國,在全球半導體市場上完全是小透明,根本不具備評論半導體產(chǎn)業(yè)發(fā)展的資格,因此也就沒什么人會關(guān)注和提及摩爾定律。
徐云說他有好幾位老師上課時候都提過摩爾定律,高凡自然是要表示欽佩的。只是以他的身份,擺出這樣一副嘴臉來夸獎中科大,徐云怎么能不對他表示一番鄙夷。
“既然你知道摩爾定律,那么你想想看,芯片制造技術(shù)將會以什么樣的速度發(fā)展?g線光刻機肯定很快就會落伍,下一代i線光刻機會迅速普及。不出十年,市場主流就會是krf光刻機?!备叻操┵┒?。
徐云在心里默想了一下,點點頭道:“你說得有理,不過,這也是國際市場的潮流吧?咱們國內(nèi)現(xiàn)在連g線光刻機都沒能掌握,你說的krf,怎么也得是20年以后的事情了。”
“我們?yōu)槭裁淳筒荒苊闇蕠H市場呢?”高凡看著徐云,“造光刻機,需要高精密機床,咱們一時造不出來??墒枪饪棠z的技術(shù)沒多高的門檻,咱們?yōu)槭裁床荒芴崆耙徊秸碱I(lǐng)這個市場呢?”
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